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化学机械抛光加工原理主要是利用化学作用和机械作用相结合的方式，对材料表面进行平滑处理，以去除表面粗糙、不平整或微小的缺陷，化学机械抛光过程中，通过化学试剂与材料表面发生化学反应，使得表面变得易于去除或改变其物理性质，同时借助机械摩擦力和研磨剂的作用，去除表面微小的不平整和粗糙部分，从而达到平滑表面的效果。
关于化学机械抛光设备上市公司，由于股市动态变化较大，不同时期会有不同的领军企业，在半导体制造领域，应用化学机械抛光技术的企业有华润三九等上市公司，在精密加工领域也有一些企业涉及化学机械抛光设备的研发和生产，由于股市信息不断变化，如果想了解具体的上市公司，建议查阅最新的股市信息和相关企业的官方公告。
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